真空探針熱臺可進行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設計，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動，器件的高頻特性（支持頻率上達67GHz），探針熱沉設計，LD/LED/PD的光強/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。

　　真空探針熱臺關(guān)機操作：

　　（1）所有圓片測試完畢后，載片吸盤上沒有圓片且已回到右下角上料位置，此時可以關(guān)機。

　?。?）關(guān)閉顯微鏡照明燈開關(guān)。

　?。?）關(guān)閉自動探針臺電源模塊上的主機電源。

　?。?）關(guān)閉自動探針臺總電源（即電源插座開關(guān)），確認散熱風扇處于停止狀態(tài)。

　　（5）關(guān)閉真空閥（順時針為關(guān)）。

　?。?）關(guān)閉壓縮空氣閥（順時針為關(guān)）。

　　真空探針熱臺安全注意事項：

　?。?）在沒有真空或壓縮空氣（或壓力不足）的情況下嚴禁開機測試。

　　（2）為了保護設備，開機時必須先開真空和壓縮空氣閥，再開自動探針臺電源模塊上的主機電源；關(guān)機時必須先關(guān)自動探針臺電源模塊上的主機電源，再關(guān)真空和壓縮空氣閥。

　?。?）打開自動探針臺電源模塊上的主機電源之前，必須確認散熱風扇處于轉(zhuǎn)動狀態(tài)，不正常工作可能會燒壞主機電源。

　?。?）設備正常測試時嚴禁打開設備上的參數(shù)設置面板和操作控制面板。